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薄膜太阳能电池工厂设计标准 GB51370-2019
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4.2 基本工序
4.3 工艺区别
4.4 设备配置
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1 总则
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4.1 一般规定
4.2 基本工序
4.3 工艺区别
4.4 设备配置
5 总图
5.1 厂址选择
5.2 总平面布置
5.3 竖向设计
5.4 交通组织
6 建筑
6.1 一般规定
6.2 建筑防火
6.3 室内装修
7 结构
7.1 一般规定
7.2 结构方案
7.3 防微振
8 气体动力
8.1 冷热源
8.2 大宗气体
8.3 特种气体供应
8.4 压缩空气
8.5 工艺真空和清扫真空
9 供暖、通风、空气调节与净化
9.1 一般规定
9.2 供暖、通风与废气处理
9.3 空气调节与净化
9.4 防烟排烟
10 给水排水
10.1 一般规定
10.2 给水排水
10.3 纯水
10.4 工艺冷却循环水
10.5 废水
10.6 消防
11 电气
11.1 供电系统
11.2 低压配电及电气照明
11.3 信息与自控
11.4 防雷接地
12 节能
附录A 薄膜太阳能电池典型生产工艺流程
本标准用词说明
引用标准名录
